Seminar & Colloquium
[콜로퀴엄: 9월 29일(수), 오후 5시] 연세대학교 산학협력단, 김성수 연구교수
"극자외선 리소그래피 기술 개발: 과거, 현재, 미래(Development of EUV lithography technology: past, present, and future")
Speaker
김성수 연구교수, 연세대학교 산학협력단
EDUCATION
- 1981.03 ~ 1985.08 서울대학교 금속공학과 학사
- 1986.03 ~ 1988.08 서울대학교 물리학과 석사
- 1994.03 ~ 2000.08 KAIST 물리학과 박사
PROFESSIONAL EXPERIENCES
- 1990 ~ 2002 삼성 종합기술원, 삼성전자 DM 총괄연구소 근무 (광기록 기술 개발)
- 2003 ~ 2020 삼성전자 반도체 연구소 근무 (EUV 기술 개발)
- 2011. 12월 삼성전자 마스터 선임
- 2021 ~ 현재 연세대학교 연구교수
| Date | Wednesday, September 29th, 2021
| Time | 17:00 ~
| Venue | 온라인 강의 (https://snu-ac-kr.zoom.us/j/86516549039 )로 출석확인 해주세요.
Abstract
무어의 법칙으로 대변되는 반도체 미세화는 Lithography 기술의 발전에 의해 주도되어 왔다. 본 강연에서는 최근 반도체 양산 적용이 시작된 EUV Lithography 기술의 특징과 개발 이력을 광원, 광학계, 마스크 등 요소 기술을 중심으로 설명하고, 현안 문제와 차세대 EUV 기술에 대해 소개한다. 특히 국내 기업에서 초기 단계부터 EUV 기술 개발에 참여하여 국내외 전문가 및 기관들과의 협력을 통해 기술 난제를 극복한 과정을 현장 경험을 바탕으로 공유한다.
| Host | Prof. Woong-Ryeol Yu (880-9096)