logo

2022년 1월 서울대학교 재료공학부 단기 강좌

- 반도체 Lithography 기술의 이해

¨  강좌명: 반도체 Lithography 기술의 이해

¨  강사: 김성수 교수(연세대학교 산학협력단 / 前 삼성전자 마스터)

¨  강좌 시간: 2022년 1월 10일(월) ~ 1월 13일(목), 4pm ~ 5:15pm (총 4회)

¨  장소: 33동 228호

¨  강의 주제 및 내용

§   1월 10일(월): 반도체 Lithography 기술의 개요 및 광학 원리(I)

-     Lithography 기술의 구성 요소와 공정, Maxwell 방정식과 물질의 광학 성질

§   1월 11일(화): Lithography 기술의 광학 원리(II)

-     Fourier 광학을 이용한 Imaging Theory와 Lithography로의 적용

§   1월 12일(수): Photo Resist, Mask, Lithography 공정

-     Chemically amplified resist(CAR), Mask 제작 공정, Lithography 공정 Characterization

§   1월 13일(목): EUV Lithography 기술

-     EUV Lithography의 특징과 Issue, 다음 세대 기술