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[세미나: 1월 9일(화), 오전 11시] 정진욱 교수, 한양대학교

Title

반도체 공정을 위한 플라즈마

Speaker

정진욱 교수, 한양대학교 전기공학과

ㅣLangugel 한국어(Korean)

Education

- 1997. 3. ~ 2001. 2. 한국과학기술원 물리학과 박사

Experience

- 2002. 9. ~ 현재 한양대학교 전기공학과 교수

- 2011. 3. ~ 2015. 9. 한국정보디스플레이 장비 연구회 회장

- 2012. 9. ~ 2013. 2. 삼성전자 설비기술 연구소 고문

- 2020. 1. ~ 현재 반도체디스플레이 기술학회 플라즈마 RF 연구회 회장

| Date | Tuesday January 9th , 2024

| Time | 11:00 ~

| Venue | 33동 222호(DB세미나실)

[Abstract]

반도체 공정에 널리 사용되고 있는 플라즈마 정의, 발생 방법 및 원리 그리고 주용 응용 분야를 소개하고자 한다. 최근 반도체 공정에서 요구되는 플라즈마 소스 특성을 다루고자 한다. 

| Host | 이관형 교수(02-880-8366)