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 서울대학교 재료공학부 황철성 석좌교수 연구팀, 제31회 삼성휴먼테크논문대상 Material Science & Engineering 분과 금상 수상

서울대학교 재료공학부 최원호, 박병우 박사과정생(지도교수 황철성 석좌교수)이 삼성전자가 주관하는 제31회 삼성휴먼테크논문대상에서 Material Science & Engineering 분과 금상을 수상하였다. 해당 상은 과학 기술의 발전과 우수 인재 양성을 목표로 삼성전자가 1994년에 제정한 권위 있는 학술상이다.

본 연구팀은 ‘희생 원자층 증착 기술’을 활용하여, 결정질 Te 박막을 저온에서 성장시켰으며, 높은 정공 이동도와 낮은 접촉 저항을 가지는 고성능 p-type 박막 트랜지스터를 구현하였다. 해당 트랜지스터는 n-type 트랜지스터와 견줄만한 성능을 갖춘 최초의 CMOS 호환 p-type 박막 트랜지스터이다. 이 기술은 CMOS-BEOL 조건과 호환되며, 3D 집적 CMOS 아키텍처, 비휘발성 메모리, 센서, 로직 소자 등 다양한 전자 소자 응용에 큰 기대를 모으고 있다.