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서울대학교 재료공학부 황철성 석좌교수, ALD 2022학회 Innovator Award 수상

 

 

서울대 재료공학부 황철성 석좌교수, ALD 2022 학회 Innovator Award 수상자 선정

 

서울대 재료공학부 황철성 석좌교수가 2022년 ALD 학회에서 매년 한 명을 선정하여 수상하는 Innovator Award를 수상하였다. ALD 학회는 매년 미국진공학회 (AVS)에서 주관하는 국제학회로 원자층 증착기술 (ALD)와 원자층 식각 기술 (ALE)에 관해 세계적으로 인정받는 연구자들이 참여한다. ALD 학회에서 수상하는 Innovator Award 상은 국제적으로 ALD 분야에서 뛰어난 업적을 이루고 리더십을 발휘한 연구자 한 명을 선정하여 수상한다. 황철성 석좌교수는 반도체 분야에서 세계 주요 학술지에 670편을 게재하고 36,000회 이상의 피인용 횟수를 기록하고 있으며 특히 차세대 메모리용 기능성 박막의 원자층 증착 기술에서 세계 최고 수준의 ALD 공정을 개발하였다. 황철성 석좌교수는 이번 Innovator Award를 수상하며 “반도체 메모리 장치 집적 기술에서의 ALD 전망”에 관해 발표하였다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


 

 

▲ ALD 2022 학회 Innovator Award 상 수상

 

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